MKS前瞻性的創(chuàng)新開發(fā),推動其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。MKS的電源、測量、控制和復雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù),改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率,提高了產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。MKS產(chǎn)品起源于MKS的壓力和流量測量與控制核心技術(shù),延伸到材料遞送、氣體成份分析、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。下文是我們與大家分享的有關(guān)MKS真空計,美國MKS真空計產(chǎn)品特征介紹的產(chǎn)品信息,如果您想要購買歐美工業(yè)產(chǎn)品備件,卻苦于沒有渠道,那請您來找我們,我們會為您提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
一、美國MKS真空計產(chǎn)品概述
全球真空用戶轉(zhuǎn)向MKS、Granville-Phillips®產(chǎn)品來獲得可靠、精確、可靠的真空測量技術(shù),用于測量10-11至1500 Torr的壓力。他們的真空計、傳感器、傳感器和控制器基于多種壓力測量技術(shù),包括Convectron®、Micro-Ion®、MicroPirani™、壓電熱陰極和冷陰極、Stabil-Ion®和基于MEMS的多傳感器技術(shù)。937B系列組合真空計系統(tǒng)是真空計系列的一部分,可同時操作多達六個傳感器。通過選擇傳感器類型,每個控制器都可以根據(jù)用戶的具體要求進行配置。壓力單位可由用戶配置,單位為托、毫巴、帕斯卡或微米。RS232和RS485是937B的標準配置,也可以選擇Profibus。UHV測量系統(tǒng)可用于需要以下任何一項的應用:高溫烘烤、抗輻射;或10-11 Torr測量。真空測量傳感器可安裝在直線加速器、助推環(huán)、存儲環(huán)、光束線和真空泵系統(tǒng)上。
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二、MKS真空計,美國MKS真空計產(chǎn)品特征介紹
①電離真空計可在10-11 Torr范圍內(nèi)進行精確真空測量
②Convectron Gauge選項將壓力測量擴展到大氣
③Stabil-Ion Gauge具有帶有校準數(shù)據(jù)的存儲模塊
④超潔凈儀表結(jié)構(gòu)可在抽氣期間快速響應
⑤雙燈絲可延長設(shè)備的正常運行時間
三、美國MKS真空計特性
Granville-Phillips®370 Stabil-Ion®Bayard-Alpert真空計是最精確的Bayard-Alpert型熱陰極電離真空壓力計,采用全金屬測量管,可消除玻璃破裂、玻璃分解或氦氣滲透。完整的靜電屏蔽和接地金屬儀表管外殼提供穩(wěn)定的電氣環(huán)境并屏蔽外部電氣影響。Stabil-Ion®真空計的穩(wěn)定性、準確性和可靠性是多年測試和設(shè)計的結(jié)果。Stabil-Ion真空計是唯一一款能夠長期保持校準的高真空過程控制真空計。由于老式電離計的設(shè)計和技術(shù),柵極和燈絲之間的物理關(guān)系總是在變化。因此,壓力讀數(shù)通常不準確30%到40%,有時甚至更多。獲得專利的精確設(shè)計和先進的制造技術(shù)可確保StabilIon壓力表的組件不會移動,因此您可以在壓力表的使用壽命內(nèi)獲得準確的壓力測量結(jié)果。
四、美國MKS真空計功能
①精密纏繞、消除應力的陽極:即使在高溫脫氣后也能保持其原始形狀,從而減少測量誤差。任何內(nèi)部組件沒有移動意味著實際壓力指示沒有變化
②堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu):防止安裝過程中損壞網(wǎng)格和燈絲,并消除玻璃破碎的風險
③張緊雙絲:保持精確定位以保持穩(wěn)定性和校準
④真空燒制部件:組裝過程中切勿徒手觸摸。所有制造、組裝和測試均在潔凈室環(huán)境中進行,從而防止污染并加速真空系統(tǒng)抽氣
⑤校準內(nèi)存:Stabil-Ion真空計是第一個具有足夠長期穩(wěn)定性的電離真空計,足以證明在內(nèi)存中存儲校準數(shù)據(jù)是合理的。每個StabilIon壓力表都配有一個內(nèi)存模塊,其中包含基于15個單獨校準壓力值的校準數(shù)據(jù)
⑥測量范圍的選擇:Stabil-Ion真空計可用于高真空或超高真空范圍
五、美國MKS真空計簡介
Granville-Phillips®370 Stabil-Ion®真空計控制器是一款機架式控制器,可為全金屬370 Stabil-Ion®真空計提供無與倫比的電離真空計性能,以一小部分的速度提供旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計的長期性能使用芯片上的校準的成本。Stabil-Ion真空計的獨特設(shè)計和精心制造確保了長期、準確的測量。以下是舊版BA儀表設(shè)計中存在的更重要的問題,他們已將其刪除,以便隨著時間的推移和儀表之間的測量實現(xiàn)準確度。電子和離子軌跡的復雜計算機模擬極大地有助于識別不穩(wěn)定行為的原因。
六、美國MKS真空計技術(shù)參數(shù)
①測量范圍:2.0 x 10-10至999托
②準確性:1 x 10-8-1 x 10-4 Torr,讀數(shù)的±4%(對于N2)
③重復性:1 x 10-8 Torr至1 x 10-4,Torr±3%讀數(shù)
④模擬輸出:1伏/十倍頻,對數(shù),0-10 Vdc
⑤配件類型:CF法蘭
⑥法蘭尺寸:2.75英寸
⑦電子轟擊脫氣:40瓦,1-30分鐘(可調(diào))
⑧發(fā)射電流:0.1毫安和4.0毫安
⑨工作溫度:0-40°C
⑩儲存溫度:-40-70°C
?電源要求:90-130伏交流電、180-250伏交流電、50-60赫茲、最大220瓦
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